В момента всичко което е под 100 нм се нарича нанотехнология. Включая наночастиците (20-100 нм), нанотранзистори, които използват въглеродни моностенни нанотръбички като полупроводници, многостенните нанотръбички са проводници.
CMOS технологиите между другото са отдавна под 90 нм, виж сайтовете на филипс или имек. Всъщност изследователския център на филипс в льовен, белгия се занимават в момента точно с цмос/ 90нм.
С лазер литография също си под 100 нм директно.

Поздрави

"Do or do not, there is not try. "
Joda- StarWars