Мисля, че малко зависи и от метода: с изпарение или магнетронно разпрашване - динамиката на двата процеса се различава.
И в двата случая ще има неравномерност на дебелината на покритието в зависимост от геометрията на детайлите. Трябва да ги задвижиш в пространството на камерата - а-а-а-а!, течове от връзките - навсякъде!!!
По принцип, обаче, най-добре е : "динамично следене" на равновесието - с натичащ вентил с обратна връзка за кислорода (много важно е, да е "чист"- трудно се постига) и общото налягане в камерата.
Такива "натичащи вентили" с управление предлага Лайболд - не е евтино.

По "времето за нанасяне" ще се определи дебелината на покритието - ама трябват и методи за измерване, и нагаждане - абе, малко е "неблагодарна" работата с вакуум: за повторяемост на параметър и "бързина" на производствен цикъл.

Земята е кръгла и всичко е трап!- А. Мелконян

Редактирано от Maлoyм 2 на 19.09.05 10:59.