Така и предполагах - с изпарение - няма начин да получаваш повторяеми резултати.
Сигурно ти е известно, че не е ясно, къде точно, в коя зона от процеса се получават съединенията - дали по пътя към детайла и/или на границата детайл-покритие.
Една от "сносните" теории твърди, че всичко става на граничния слой.
Например, нанасяли сме неръждавейка върху фаянсови плочки - метален блясък, огледало, малко тъмно - в среда от аргон.
Да, ама възложителят искаше да са "златни" на цвят - титанов нитрид. С предварително "подгряване" на плочките ставаше - много малки отклонение от наситеността на цвета.
В изпарителна камера - този проблем го няма, но дебелината на слоя, пък - е различна. Но цвета - хубав, декоративен, износоустойчив и няма видими нюанси. Детайлите се движат, въртят.
Просто - не знам кво да те посъветвам, щото с окиси нямам опит.
Ако наистина цвета зависи съществено от дебелината на слоя - изпарението е по-неконтролируемо от магнетронното.
Работата на диф.помпа съществено се влияе от температурата (кин.енергия) на газовете в камерата, та затова - при магнетрон - ниски температури.
Опитай охлаждане с течен азот на уловката ако конструкцията позволява- самата тя става помпа.

Земята е кръгла и всичко е трап!- А. Мелконян