|
Тема |
нанасяне на TiO2 |
|
Автор | вakyyмиcт (Нерегистриран) | |
Публикувано | 17.09.05 16:47 |
|
|
Здравейте!
Интересува ме нанасянето на TiO2 във висок вакуум. Как може да се гарантира еднаква дебелина на покритието във всеки производствен цикъл(повтаряемост на процеса)? Кое е по-разумно: да се избере някаква стойност на вакуума за стабилизация(да се поддържа чрез пускане на кислород и изпомпване) или да се следи дебита на кислорода и след подаване на определено количество да се спре? А, може би, истината е някъде по-средата или има нещо съвсем различно?
|
| |
|
|
|