Имате люспи от INOX, т. е. неръждаема стомана. По-точно - аустенитна неръждаема стомана от типа 12Х18Н9Т. Тези люспи притежават окисен слой, макар и да не ръждясват. Как може да се отстрани по химичен път, като самата стомана не се засяга или почти не се засяга? Окисният слой пречи на последващо нанасяне на TiN във вакуум, влошавайки качествата на покритието.

Мисля си, че не толкова окисната корица пречи на адхезията (не, че не пречи, ами и след като я отстраниш механично и химически, пак има проблем), колкото пречат на процеса физически задържаните газове на повърхностната структура на материала. (Дори и във вакуум не излизат без бой с аргоновите атоми - може и с азот - нали е участник в титановия нитрид, а все още не е известно къде, на кое място, става хим реакцията)
Затова - се предхожда с режим: тлеещ разряд в аргонова среда - почистване и "разрошване" на повърхността, та чак после се вкл за нанасяне покритието.
(чистили сме около час - даже стъклена повърхност - все дава "искрици" в тлеещия разряд - мръсотии разни, изгарят

Съдържаниет е скрито
Влезте за да го видите

Съдържаниет е скрито
Влезте за да го видите

Все пак е проблем. Преди да почистиш във вакуум, било с тлеещ разряд или по друг начин, трябва да направиш всичко възможно максимално да почистиш подложката преди вкарването в камерата.

Може би със Сода каустик, само че под вакуум.(