Сега правя едно устройство за иницииране на PVD процес. Методът е прост - с не много високо напрежение(ок. 600 V) се създава пробив между катода и графитизиран изолатор. В бъдеще проводимият слой ще се получава при самото изпарение. При достигане на необходимия вакуум и стартиране на устройството процесът започва веднага. Но, ако се изключи по някаква причина, не може да се пусне отново, защото изолаторът се стапя. Работният ток е ок. 100 А, изпарява се титан. Вярно е, че повърхността е с доста висока температура, но пък и изолаторът може да е от неподходящ материал. Някакви идеи как да се излезе от подобна ситуация?

Здрасти!

Кажи с две думи, каква е целта?

Целта е да започне изпаряването на титана.

А що не ползваш обикновен кибрит?

Съдържаниет е скрито
Влезте за да го видите

Защо прекъсва пробива? - Защото процесът на изпарение и разделяне на плазмата е по-бавен и, каквото се е йонизирало първоначално, се е издърпало от неограниченото нарастване на тока, преди да се изпари и йонизира още. Това е процес на обедняване на токоносители около анода.

Трябва да сложиш серийно на тока баластно съпротивление (само няколко Ома) или индуктивност, което да ограничава тока на плобива или - неговото бързо лавинно нарастване.

Така няма да се получава обедняване на плазмата около анода (изпарителя) след пробива.

Поздрави!

Проблемът не е в прекъсването. Проблемът е, че не може да се възстанови процесът, защото керамиката на запалката се е стопила. Прекъсването винаги може да се получи, не може да се избегне при неколкочасова работа. Това е нещо нормално.

"Проблемът не е в прекъсването. Проблемът е, че не може да се възстанови процесът, защото керамиката на запалката се е стопила. Прекъсването винаги може да се получи, не може да се избегне при неколкочасова работа. Това е нещо нормално."

Щом проблемът не е в прекъсването, къде е?

Ако прекъсването не е поради обедняване на газа край анода (явно, щом работи дълго време) то следва да е разливане на непроводящо покритие върху повърхността на анода. Анода трябва да е като ваничка и да има стени, които остават по-високо от стопилката, за да не бъдат залети.

Вероятно и това е така. Тогава покритието на анода идва от кипенето на стопилката: Изпарени атоми, които не биват йонизирани и падат обратно, и кондензират върху по-хладната повърхност на анода, и много бавно го покриват. Налага ли се да се чисти повърхността му за да се стартира процеса отново? Ако - да, тогава това не е авария, а е част от експлоатационния цикъл на камерата и трябва да се спре и чисти!

Поздрави!

Няма никаква стопилка в този процес. Титанът се изпарява електродъгово. Изпарява се катодът. Не ме интересува прекъсването. Интересува ме възстановяването на процеса.